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★该立式真空镀膜设备可分为单门或双门蒸发镀膜机、单门或双门磁控镀膜机、单门或双门磁控蒸发组合AF镀膜机,蒸发镀膜机可蒸发镀铝丝和铝片。磁控镀膜机可镀的工艺膜系有:金膜、银膜、铝膜、钛金膜、不锈钢膜等单质膜和氧化膜、复合膜、增透膜、增亮膜、光学膜、ITO导电膜、EMI屏蔽膜等等。设备能出产的产品有银镜、铝镜、彩色玻璃、工艺玻璃、光伏玻璃、光电玻璃、ITO导电玻璃、非导玻璃等,以及PC、PVC、PET等资料表表镀AR、AF、ITO、非导等膜和金属单质膜等工艺。设备重要利用在手机镜片和手机后盖镀膜、电子、电器、军工、家电、五金、玩具、汽车、构筑、建材、灯饰、装璜等多多行业领域。本设备的利益:抽速快及不变、产量高、动弹结构运行安稳不卡顿。高真空部门可凭据客户现实必要全选择油扩散泵或分子泵,或两者搭配使用;设计有防返油机构,削减对产品的传染;使用国内或国表驰名品牌真空泵机组,加上人道化结构设计理想和智能节造及显示系统,如能增长使用深冷系统,会加快抽速功夫及产量,使设备优美绝伦。

★工艺气体:氩气、氧气、氮气等,具体看出产的产品而定。
★靶材材质:金、银、铜、铝、钛、锆、硅、镍、铬、锡、铟、铌、不锈钢等或锡铟、硅铝、镍铬等合金、铝丝、铝片。
★磁控溅射电源:直流电源、中频电源、离子轰击电源、离子源电源(按客户必要而定)、蒸发器。
★该立式磁控蒸发镀膜设备的结构:
可分为单开门或双开门结构,
前级有精抽真空泵机组、粗抽真空泵机组、粗抽阀、前置阀、高真空阀、磁控溅射蒸发室(单室时动弹工件架装在固定门里;如是双开门时动弹工件架装在两个活动门里)-----有磁控溅射阴极靶或蒸发器或者磁控溅射阴极靶和蒸发器组合,气体系统和离子轰击等。

★该立式磁控蒸发镀膜设备的工作流程:
在工件架上挂上或贴上基片-----如有蒸发需装上铝丝或药丸子-----关上大门,开真空泵进行抽真空----若是有轰击(有时必要充入氩气)开轰击开动弹-----轰击实现后持续抽真空直至真空度5×10-2Pa左右或更高,开蒸发器进行蒸发同时开工件架动弹(若是是磁控镀膜的话,充工作气体开磁控靶同时工件架动弹),-----镀膜实现后,关关所有阀门,打开真空室放气阀放气,打开大门取下工件。重新挂上新的工件(如此循环工作)。




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