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真空镀膜机主要是指一种需要在高真空度下进行的镀膜 ，包括多种真空镀膜设备 ，包括真空蒸发镀膜机、真空多弧离子镀膜机、真空中频磁控溅射镀膜机、多功效中频磁控溅射多弧复合离子镀膜机、真空光学(电子束蒸发)镀膜机等 。那么使用真空镀膜机需要注意什么呢？如何维护保养？
真空镀膜机维护和保养步伐如下:
1、设备接地必须可靠 ，并经常检查接地装置的导电效果 。
2.扩散泵和油增压泵加热时 ，不要与大气接触 ，以免泵油氧化 。
3.按期检查和调解水流继电器 ，检查断水报警是否正常 ，确保设备冷却水的流通 。
4、扩散泵和油增压泵在加热前必须接通冷却水 ，泵停止事情 ，但泵未冷却到80℃以下时 ，不得切断冷却水 ，以避免泵芯烧毁 。
5、涂装事情前必须连接所有设备冷却水 ，以避免电极和基材烧伤 。
6.拆卸和组装设备部件时 ，应注意�；っ芊馐虑槊婷馐芑祷嘶蛩鸹� ，以确保设备的密封性能可靠 。
7.设备各传动轴真空密封接纳“骨架油封” ，骨架油封内腔填充润滑油 。使用一段时间就会磨损 ，所以一定要加同样的润滑油 。
8.按期检查罗茨泵和滑阀泵的储油能力 ，并按期增补 。同时 ，凭据其手册的要求进行维护 。
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