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（4)真空镀膜机安裝蒸发源：
注意戴脱油胶手套，专用工具要事先脱油。需把稳蒸发源与电级良好触碰。
(5)置放镀件：
应不变牢固置放在镀件地和镀件夹上，预防蒸发时易工装夹具动弹而将镀件抛离工装夹具，需戴脱油胶手套，不成讲话，维持镀件工装夹具算帐。
2.真空镀膜机包装流程
开启造冷进水阀，调整到所需压力，接入总开关电源，关掉通向真空系统的大气阀，关好阀门，运行真空泵开关电源，开启预真空阀。这使劓空泵对真空系统抽真空，后发展直流溅射，接入扩散泵加温开关电源，关掉预真空阀门，待扩散泵做到工作标定时，关掉真空阀门，开启阀门，开启高真空阀门，这时，扩散泵、真空泵对真空系统发展抽真空，倒劓空值做到肯定标值后发展烤造、预熔和蒸发。
3.直流溅射
电弧放电时，直流溅射电子器件得到很高的速度，在镀件周边因电子器件比力大的扩散系数而急剧含有负电，在负电荷引诱力的成效下，正派流溅射镀件表层，镀件表表有动能互换，在镀件吸咐层和活力汽体中央产生化学变动，做到算帐表表的现实成效。
直流溅射的前提是剩下空气压力安稳在0.13~13Pa，工作电压为1.5~10kV，時间为5~60min。
真空镀膜机
4.烤造
可加快镀件或工装夹具吸咐的空气急剧逸出，有益于提升真空值和膜层结合性，烤造时出格把稳，针对非金属烤造溫度要幼于镀件的热变形温度20~30℃，对金属烤造通常不超过200℃。
5.预熔
可去除蒸发原资料低中溶点残渣和蒸发源及蒸发原资猜中吸咐的汽体，有益于蒸发的顺利发展，预熔的真空值通常为6.6×10-3Pa，時间以彻底消融才行，对吸水性大的化学物质应不休预熔，总的划定是在蒸发原资料提温到蒸发溫度时，真空值不会再降低。
6.蒸发
蒸发真空镀膜机的蒸发技术对涂层品质风险比力大，对通常金属、怪异金属和化学物质都是有不一样的划定，例如对一些金属需迅速蒸发，而对另一些金属则不适合用，加温方式及蒸发源的样子也必要凭据蒸发原资料的差距而定。
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