★该立式真空镀膜设备可分为单门或双门蒸发镀膜机、单门或双门磁控镀膜机、单门或双门磁控蒸发组合AF镀膜机,蒸发镀膜机可蒸发镀铝丝和铝片。磁控镀膜机可镀的工艺膜系有:金膜、银膜、铝膜、钛金膜、不锈钢膜等单质膜和氧化膜、复合膜、增透膜、增亮膜、光学膜、ITO导电膜、EMI屏蔽膜等等。设备能生产的产品有银镜、铝镜、彩色玻璃、工艺玻璃、光伏玻璃、光电玻璃、ITO导电玻璃、非导玻璃等,以及PC、PVC、PET等质料外貌镀AR、AF、ITO、非导等膜和金属单质膜等工艺。设备主要应用在手机镜片和手机后盖镀膜、电子、电器、军工、家电、五金、玩具、汽车、建筑、建材、灯饰、装饰等众多行业领域。本设备的优点:抽速快及稳定、产量高、转动结构运行平稳不卡顿。高真空部分可凭据客户实际需要全选择油扩散泵或分子泵,或两者搭配使用;设计有防返油机构,减少对产品的污染;使用海内或外洋知名品牌真空泵机组,加上人性化结构设计理念和智能控制及显示系统,如能增加使用深冷系统,会加速抽速时间及产量,使设备尽善尽美。
★工艺气体:氩气、氧气、氮气等,具体看生产的产品而定。
★靶材材质:金、银、铜、铝、钛、锆、硅、镍、铬、锡、铟、铌、不锈钢等或锡铟、硅铝、镍铬等合金、铝丝、铝片。
★磁控溅射电源:直流电源、中频电源、离子轰击电源、离子源电源(按客户需要而定)、蒸发器。
★该立式磁控蒸发镀膜设备的结构:
可分为单开门或双开门结构,
前级有精抽真空泵机组、粗抽真空泵机组、粗抽阀、前置阀、高真空阀、磁控溅射蒸发室(单室时转动工件架装在牢固门里;如是双开门时转动工件架装在两个运动门里)-----有磁控溅射阴极靶或蒸发器或者磁控溅射阴极靶和蒸发器组合,气体系统和离子轰击等。
★该立式磁控蒸发镀膜设备的事情流程:
在工件架上挂上或贴上基片-----如有蒸发需装上铝丝或药丸子-----关上大门,开真空泵进行抽真空----如果有轰击(有时需要充入氩气)开轰击开转动-----轰击结束后继续抽真空直至真空度5×10-2Pa左右或更高,开蒸发器进行蒸发同时开工件架转动(如果是磁控镀膜的话,充事情气体开磁控靶同时工件架转动),-----镀膜结束后,关闭所有阀门,翻开真空室放气阀放气,翻开大门取下工件。重新挂上新的工件(如此循环事情)。
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