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真空镀膜系统主要组成部分二

2020-11-12 16:42:51

六、机械传动部件

涂装时,要求周围的厚度均匀一致,这样涂装时需要三个转动量才华满足要求。也就是说,当需要大的工件台转动(I)时,小的工件台也需要转动(II),并且工件自己也可以旋转(III)。就机械设计而言,一般是在大工件盘底中心有一个大的运动齿轮,周围有几个小的星行轮与之啮合,若要实现产品自转,一般用拨叉来拨动工件。

七,加热和测温部件。

涂装设备一般接纳差别位置的加热器,利用热电偶控制温度。但由于热电偶夹头与工件位置差别,温度读数不可作为实际工件温度。丈量工件实际温度有多种要领,可在工件上装置高温试纸或热偶计。

离子蒸发和溅射光源。

真空镀膜系统

多弧喷涂蒸起源一般是圆饼型,俗称圆饼型,也有长方形多弧喷涂。靶内装有磁体,通过前后移动磁体,改变磁场强度,可以调理弧斑移动速度和轨迹。为降低目标和靶座温度,需要在靶座内连续地注入冷却水。同时,为包管高导率和高导率热传导性,还可在目标与靶座之间设置锡衬垫。磁控制溅射膜通常接纳矩形或圆柱形溅射阴极。

九、水冷却系统

通常包括冷水塔,冰水机,水泵等。

十工控系统。


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