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真空蒸发设备由真空泵系统和真空室组成，其中真空泵系统由(超)高真空泵、低真空泵、排气管和阀门等组成。真空室配有蒸起源、晶体振荡器和掩模板等不可缺氨赡部件。多个用于安排有机质料的蒸起源设置在真空室中并左右移动，用于加热有机质料以将其蒸发并沉积在衬底上以形成薄膜。AMOLED面板需要蒸镀十层以上的有机质料。蒸发厚度和均匀性是焦点指标，需要控制在纳米级精度，直接决定了OLED面板的发光效率、显示颜色和制品率。蒸起源作为蒸发的焦点部件，其性能决定了蒸发历程中薄膜的厚度和均匀性，可视为蒸发设备的“心脏”。
有机涂层蒸起源:在有机成膜历程中，如何稳定控制蒸发速度，并恒久坚持连续蒸发，是批量生产设备上蒸起源设计的重要问题。在生产中为了控制TactTime，蒸起源的运行方法一般接纳快门控制，蒸起源始终坚持在设定的加热温度。当基板移动到指定位置时，蒸起源的快门翻开，形成薄膜。当连续运行时，大宗有机质料贮保存真空蒸发系统中，以维持蒸起源的运行或使用自动填充机构，并且同样的设计考虑必须应用于金属电极膜形成历程。晶体膜厚监控法用于控制蒸发速度，在连续大规模生产历程中，为了坚持丈量精度，自动交换水屑的机制也是须要的。
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