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磁控溅射是一种物理气相沉积要领

2020-12-11 14:49:51

真空镀膜的作用主要是给镀零件的外貌高度的金属光泽和镜像效果,尤其是对汽车灯罩,它有一个很是重要的聚光效果,其次给屏障性能优良的涂料层,提供良好的电磁屏蔽和导电性的影响。凭据制备气相金属的要领和镀膜的沉积要领 ,将真空镀膜分为热蒸发镀膜法和磁控溅射镀膜法两种工艺。其中磁控溅射法具有涂层层与基体结协力强、涂层致密均匀等优点 ,具有较大的技术优势。真空镀膜技术是指在真空情况下 ,将某种金属或金属化合物(通常为非金属)以蒸汽的形式沉积在质料的外貌。它是一种物理气相沉积历程 ,因为涂层往往是铝、锡、铟等金属的薄膜 ,所以也称为真空金属化。

磁控溅射

磁控溅射是一种物理气相沉积要领 ,用于制备种种质料的薄膜 ,如金属、半导体和绝缘体。在实际的镀膜历程中 ,沉积速率、溅射功率、溅射时间、靶材与基体之间的距离、事情压力等都会影响到镀膜的质量和厚度。在磁控溅射镀膜中 ,随着使用次数的增加 ,靶材被消耗 ,靶基距离增大。

在其他参数稳定的情况下 ,被涂膜逐渐不可满足要求。磁场的均匀性影响薄膜的均匀性。如果磁场差池称 ,镀层的位置就会改变。磁控溅射是20世纪70年代在阴极溅射的基础上生长起来的一种新型溅射镀膜要领。由于它有效地克服了阴极溅射率低和基片因电子而温度升高的缺陷 ,获得了迅速生长和广泛应用。


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